高纯液氯

    制备高纯氯气的方法是什么？其方法是以工业氯为原料，经干燥、吸附、冷凝，可制取高纯氯。高纯氯气用作半导体材料的气体刻蚀剂，特别是与三氯化硼混合可用作铝的刻蚀；还可用于MCVD法生产单膜光纤预制件。
    1、以工业液氯为原料制备电子级氯气的方法，由工业液氯气化后经多级物理干燥、吸附脱除二氧化碳、压缩冷凝、精馏脱除氮气、氧气、氢气、一氧化碳、甲烷等低沸点气体制得99.999％以上的电子级高纯氯气。
    2、高纯氯气精馏工艺，将工业液氯输送至汽化器，在1.2MPa下进入第一蒸馏塔，至第一蒸馏塔的液位达到85％；第一蒸馏塔变压至1.0MPa，由第一冷凝器冷凝后进入第一回流罐，第一回流罐中60％的釜液输送至第二蒸馏塔；第一回流罐中的液位30％-40％，第二蒸馏塔升压至1.8MPa；第二冷凝器冷凝后的釜液回流至第二蒸馏塔，再进入第三蒸馏塔，控制第二蒸馏塔的液位为60-75％，至第三蒸馏塔的液位达到85％，对第三蒸馏塔升压至1.5MPa；由第三冷凝器冷凝后进入第三回流罐，至纯度达到99.9999％，第三回流罐的液位达到60％，第三回流罐中液氯纯度为99.9999％，得到高纯氯气。
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